直读光谱仪采用的多为火花光源,也有少量采用电弧光源分析矿物或超低含量合金,传统的火花光源采用电容电感充放电原理,电容电感参数确定后,激发波形固定,所有元素均采用相同的激发波形;但是不同样品和不同元素需要不同激发波形,例如激发电位高的元素需要火花型放电波形提供高的激发能量,痕量元素需要电弧型放电波形改善蒸发效果,因此传统火花光源的激发效果较差。