在直读光谱仪的实际应用中，如C、P、S、As等元素的zui佳光谱线均在真空紫外波段，而空气中的氧及水蒸气等会对这些谱线产生强烈的吸收，使光谱强度急剧减弱，影响元素测量，所以应当将光室中的空气除去。
目前主流市场上主要有两种方式可以实现真空紫外波段元素的测量：光室抽真空或充惰性气体（如氩气、氮气等）。
抽真空型的直读光谱仪需要用额外的真空泵，存在油蒸汽污染严重、噪声大等环境问题。同时，功耗高、真空稳定速度慢，仪器需长期开机，浪费严重。
光室充惰性气体能实现真空紫外探测能力的同时，还具有稳定时间短，无噪声等优点，且能避免由于真空系统造成的光室变形、仪器漂移和环境污染等问题。目前，市场主流光谱仪多采用CCD传感器作为检测装置，光室体积可做到很小，更有利于惰性气体环境建立，从而得到更好的紫外元素分析效果，且该项技术已经过十多年市场验证，稳定可靠。
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